晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦渚A退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮?dú)獗Ｗo(hù)，該氮?dú)夂嫦洳捎幂o助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

無氧烘箱，智能無氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后，接收由IT比對下載制程數(shù)據(jù)或直接接收IT所下載制程數(shù)據(jù)方式，系統(tǒng)并自動將制程寫入溫控器，達(dá)到遠(yuǎn)程制程下載，避免人員制程選擇操作錯誤問題；

小型恒溫恒濕箱，半導(dǎo)體高低溫濕熱試驗(yàn)箱可以用來確認(rèn)產(chǎn)品在溫濕度氣候環(huán)境條件下儲存、運(yùn)輸以及使用適應(yīng)性。

真空無氧烘箱，高溫?zé)o氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預(yù)處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

充氮烘箱，充氮潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī)，抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻（NIL）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

冷熱沖擊測試機(jī)，冷熱循環(huán)氣流儀在短的時間內(nèi)（約10秒）檢測樣品因高低溫冷熱沖擊（）-65℃～220℃）所引起的化學(xué)變化和物理傷害，減少測試與驗(yàn)證時間，快速提高產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)效率。廣泛應(yīng)用于通信、半導(dǎo)體、芯片、傳感器等領(lǐng)域。