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程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱

程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱

簡要描述:

程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制,可設(shè)定定值運行、程序(曲線)運行自由切換,并有自動恒溫及時間控制,并附設(shè)有超溫自動停止加熱及報警電路,控制可靠,使用安全。

程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱說明

    可程式潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu),全部采用無塵材料,箱內(nèi)持續(xù)充氮,使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制可設(shè)定定值運行、程序(曲線)運行自由切換,并有自動恒溫及時間控制,并附設(shè)有超溫自動停止加熱及報警電路,控制可靠,使用安全。

程控式氮氣潔凈烤箱,四箱充氮烘箱技術(shù)指標:

2.1溫度范圍: RT(室溫)+15200/300/400/500/600℃;

2.2溫度均勻度:≤±1.5%℃;

2.3升溫速度: 0-15℃/min;

2.4熱風(fēng)循環(huán)方式:水平送風(fēng)

2.5工作尺寸:

D350×W350×H350mm

D500×W500×H500mm

D50W600×H700mm

D600×W600×H800mm

D1000×W1000×H1000mm

D1200×W1400×H1200mm

......

多尺寸定制

2.6箱體數(shù):1.2.3.4.6.8

2.7 運行方式:定值、程式

3、箱體結(jié)構(gòu):

3.1箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆或不銹鋼

3.2內(nèi)室材料:采用SUS304#、316L無磁性鏡面不銹鋼;

3.3保溫材料:超細陶瓷纖維

3.4排 氣 口:ф50,位于箱體側(cè)方

3.5 隔 板:2層,不銹鋼板沖孔,承重約30KG;

3.6空氣循環(huán)裝置:大容量軸流電機;

3.7加熱方式:不銹鋼電加熱器;

程控式氮氣潔凈烤箱用途

  氮氣潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料烘烤、涂膠后堅膜烘烤,治具烘烤等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、固化、熱處理、老化試驗,可靠性試驗等其他高溫試驗。


選配功能:

潔凈度:百級(class100)無塵

氧濃度:20ppm,可監(jiān)測

降溫功能:風(fēng)冷、水冷

智能軟件:MES,GEM等工業(yè)4.0智能工控


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