無塵高溫烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵高溫烘箱
特點
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度。
無塵高溫烘箱
技術參數
無塵等級：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：自定義（mm）
電源：380v , 50Hz，
網板：2塊（高度可調節)
箱體結構：
1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
4內膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；
5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
