增粘劑烤箱，HMDS烘箱將HMDS涂到LED、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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硅片HMDS涂布機(jī)臺(tái)，4寸Wafer hmds烤箱是將 HMDS 涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS pretreatment system, HMDS oven reducing the contact angle of the silicon wafer after HMDS treatment The amount of photoresist to improve the adhesion of photoresist and silicon.

silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、預(yù)處理性能更好 2、處理更加均勻 3、效率高 4、更加節(jié)省藥液 5、更加環(huán)保和安全 6、低液報(bào)警裝置 7、可自動(dòng)吸取HMDS功能 8、可自動(dòng)添加HMDS功能 9、HMDS藥液泄漏報(bào)警功能 10、HMDS緊急疏散功能 11、數(shù)據(jù)記錄打印功能